Inbetriebnahme eines Terahertz-Messsystems mit integriertem Probenscanner am Fachbereich Elektrotechnik

In vielen Industriebereichen, etwa der elektronischen Bauelemente- bzw. Halbleiterindustrie sowie der Luftfahrtindustrie, entscheiden die Eigenschaften von Oberflächen über die zuverlässige Funktion der Endprodukte. Durch die Untersuchung nicht-zerstörender Messverfahren, basierend auf der Terahertz-(THz)Messtechnik, werden die Möglichkeiten der frühzeitigen Erkennung von Produktionsfehlern und die Optimierung der Prozessfähigkeit industrieller Produktionen erforscht – so auch am Labor für elektronische Bauelemente / Fertigungsmess- und Prüftechnik unter der Leitung von Prof. Dr. Volker Feige. Dabei kommt ein Terahertz-Mess-System mit integriertem Scanner für die Mess- und Prüfaufgaben zum Einsatz, welches jüngst im Rahmen des FH-Basis-Programms des Ministeriums für Innovation, Wissenschaft und Forschung des Landes Nordrhein-Westfalen gefördert wurde.

Neben laufenden wissenschaftlichen Projekten sind weitere Kooperationen geplant, für die die THz-Messtechnik genutzt werden kann. Dabei stehen beispielsweise die zentralen gesellschaftlichen Herausforderungen der Ressourceneffizienz in Produktionen, der sauberen Energieerzeugung und der schnellen Informationsübertragung im Vordergrund.